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초격차 스타트업 (DIPS) 프로젝트
㈜월드빔솔루션
㈜월드빔솔루션
대표자박규창
설립년도2017.11.01
핵심기술냉전자원(CFE), 엑스레이 소스 제조, 극자외선 광원 제조, 극자외선 검사시스템
• 냉전자원(CFE), 상온 동작 전자빔으로 고해상도 이지징 용 전자원, 차세대 엑스레이 및 극자외선 광원 개발의 핵심 기술
• 엑스레이 소스 제조: 세계 최고 성능의 CFE 기반 차세대 엑스레이 소스 제작 기술은 사업의 판도를 바꿀 수 잇는 핵심 기술임, 차세대 엑스레이 소스를 이용한 반도체 비파괴 검사 기술에 응용. 특히 차세대 HBM 비파괴 대면적 검사에 적용 가능한 세계 유일의 기술로 평가함
• 극자외선 광원제조: 냉전자원을 핵심 기술로 이용한 세계 최초의 극자외선 광원 원천기술 개발 완료, 미국 등의 선진국에 특허 등록 완료. 향후 극자외선 검사 기술 및 검사 장치의 핵심 기술로 등극 할 것으로 평가함
• 극자외선 검사시스템: 차세대반도체 핵심공정인 극자외선 공정에 필요한 핵심 부품을 검사 할 수 있는 세계에서 가장 간결한 극자외선 검사 시스템. 극자외선 공정용 부품 및 소재 검사의 헥심 장치가 될 것으로 평가함
• 냉전자원(CFE), 상온 동작 전자빔으로 고해상도 이지징 용 전자원, 차세대 엑스레이 및 극자외선 광원 개발의 핵심 기술
• 엑스레이 소스 제조: 세계 최고 성능의 CFE 기반 차세대 엑스레이 소스 제작 기술은 사업의 판도를 바꿀 수 잇는 핵심 기술임, 차세대 엑스레이 소스를 이용한 반도체 비파괴 검사 기술에 응용. 특히 차세대 HBM 비파괴 대면적 검사에 적용 가능한 세계 유일의 기술로 평가함
• 극자외선 광원제조: 냉전자원을 핵심 기술로 이용한 세계 최초의 극자외선 광원 원천기술 개발 완료, 미국 등의 선진국에 특허 등록 완료. 향후 극자외선 검사 기술 및 검사 장치의 핵심 기술로 등극 할 것으로 평가함
• 극자외선 검사시스템: 차세대반도체 핵심공정인 극자외선 공정에 필요한 핵심 부품을 검사 할 수 있는 세계에서 가장 간결한 극자외선 검사 시스템. 극자외선 공정용 부품 및 소재 검사의 헥심 장치가 될 것으로 평가함
주요사항• 세계 최고의 기술 및 제품을 발전해 나갈 것으로 평가되며, 개발비 지원 이외에는 큰 이슈 없음. 동 제품을 사용 할 고객은 기 확보되어 있으며, 빠른 개발을 요청 중임
