AI
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초격차 스타트업 (DIPS) 프로젝트
주식회사 퓨리언스
주식회사 퓨리언스
대표자유범진
설립년도2022.07.19
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핵심기술차세대 HBM 패키징 공정용 post-CMP 초정밀 PVA 브러쉬 및 AI 융합 세정 기술
• AI 기반 세정 공정 예측·진단 및 자율 제어 기술
• Cu 선택적 제거를 위한 표면 기능화 PVA 브러쉬 기술
• In-situ 청정 관리 기반 초고청정 세정 공정 기술
• 초정밀 평탄도 확보를 위한 브러쉬 구조 설계 및 제어 기술
• AI 기반 세정 공정 예측·진단 및 자율 제어 기술
• Cu 선택적 제거를 위한 표면 기능화 PVA 브러쉬 기술
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• 초정밀 평탄도 확보를 위한 브러쉬 구조 설계 및 제어 기술
